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生产主要流程介绍

1. 将浮选厂烘干的萤石粉将萤石送至萤石贮仓。通过尘气体经旋风分离器、袋式除尘器排空，萤石贮仓的萤石粉经计量，用调速螺旋送至回转反应炉。

2. 将被酸吸收塔吸收了尾气中HF的酸送至混酸槽，在此与来自洗涤塔的稀酸混合。

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高纯水制备：通过离子交换与过滤器先制得普通纯水，再经过反渗透、电渗析后进入杀菌、**微过滤制得高纯水。在无水预处理槽边、精馏塔及蒸馏塔边、成品包装区设置HF有毒气体浓度探测、集中报警系统。设置尾气吸收塔、碱吸收塔，尾气可达标排放。

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由于的强腐蚀性，采用蒸馏工艺温度较高时腐蚀会更严重，因此所使用的蒸馏设备一般需用铂、金、银等金属或聚等抗腐蚀能力较强的材料来制造。电子级生产装置设计与工艺流程布置密切相关，垂直流向布置，原料( 无水和高纯水) 与中间产物可以依靠重力自上而下流动，高纯的制备在中部，产品过滤、灌装及贮存在底层。此布置可减少泵输送，节省能耗，降低生产成本，同时可避免泵对产品的二次污染。

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