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电子级生产方法的难点

1分析控制与产品检测要求高。制备电子级所应用的测试仪器如下: (1)电感耦合等离子高频质谱分析仪；(2)电感耦合等离子原子发射分析仪( ICP - AES)；(3)原子吸收分光光度计；(4)氧原子发生无焰原子吸收分析仪；(5)离子色谱分析仪；(6)激光散射液体微粒计数器；(7)水表面杂质分析系统；(8)原子间力显微镜；(9)光学显微镜微粒计数器；(10)扫描电子显微镜；(11)光学膜厚测定和表面仿形仪；(12)表面张力测定仪；(13) 空气中尘埃微粒测定仪；(14)水电阻率测定仪。

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在初冷器得到的冷凝液返回洗涤塔；在HF冷凝器得到的冷凝液经过粗HF贮槽进入精馏塔除去H2SO4、H2O等重组分。

精馏塔釜液返回洗涤塔；塔**馏出液进入脱气塔脱除SO2、SiF4等轻组分。脱气塔釜液为产品。

HF二级冷凝器的未凝气和脱气塔塔**排出的未凝气一起进入酸吸收塔，在此用酸吸收其中大部分HF，然后依次进入一、*二水洗塔。

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主要在于它的两个特点：一）渗透；二）然后它的氟离子可以沉淀体内的钙。也就是说，吉林，主要毒性在氟离子，酸是帮凶，帮助渗透。还有一个比较可怕的是，毒性不会立即表现出来，会滞后10几20小时，造成耽误。

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